Densidad del Material: 6,0 g/cm ².
Resistividad a temperatura ambiente: 10¹⁵ Ω·cm.
Resistencia dieléctrica: 15 kV/mm.
Temperatura máxima de funcionamiento: 1600℃ (cuerpo sinterizado) / 800℃ (cuerpo unido).
Introducción del producto:
1.Características del producto
• rendimiento del Material: hecho de Material cerámico de zirconia de alta pureza, posee una alta resistencia (resistencia a la compresión superior a 2000 MPa), alta dureza (dureza de Mohs 8,5), resistencia a altas temperaturas (temperatura máxima de funcionamiento 1600℃), y una excelente resistencia al desgaste.
• mecanide precisión: a través de prensado isostático en frío, sinteria alta temperatura y mecanide precisión, la precisión dimensional puede alcanzar − 0,001mm, y el acabado de la superficie alcanza Ra0.1.
• estabilidad química: presenta estabilidad en entornos ácidos, alcalinos y solventes orgánicos, no es propenso a reacciones químicas y no contamina componentes semiconductores.
Campos de solicitud
• manipulación de obleas en la fabricación de semiconductores.
• componentes mecánicos en ambientes de alta temperatura.
• piezas de Unión de robots humanoides.
• materiales de protección contra la radiación.
Equipo de manipulación de obleas semiconductoras
1.Brazo Robot de vacío:
• entorno de trabajo: vacío de 10⁻⁵ Pa.
• equipo aplicable: máquinas de fotolitografía, grabadoras, etc.
• características técnicas: utiliza motores de acciondirecto para evitar la contaminación del lubric.
2.Brazo Robot atmosférico:
• nivel de limpieza: clase 1-10.
• cuota de mercado: representa el 60%.
• características técnicas: adopta un diseño de estructura sellada.
3.Tecnologías principales:
• selección del Material: cerámica alúmina de pureza de 95% a 99% (resistividad a temperatura ambiente 10¹⁵ ·cm) o cerámica de carburde sili(conducconductérmica 490 W/m·K).
• precisión de posicionamiento: precisión de posicionamiento repetible ≥ 0,05 mm, vibración horizontal 0,2g.
• tecnología de limpieza: alcanza el más alto nivel de limpieza (clase 1) en la clasificación de sala limpia estándar ISO.
Supports custom specifications.